可实现与YTH/YTB系列同等的动作性能。
密闭式的外装，可防止异物侵入本能内部，增加抽气嘴的装置，可将机台内运转产生的Partcle抽离，并通过SGS测试认证可对应在CLASS 10环境使用。
在高科技半导体，食品生产设备有着极高的依赖度，并有效地减少对产品的污染及破坏。
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